咨詢(xún)熱線(xiàn)：
0769-88030227
0769-88030227
設(shè)備：膜厚儀F50-XT/ F50-UV
廠(chǎng)商：FILMETRICS
用途：依靠F50的光譜測(cè)量系統(tǒng)，可以很簡(jiǎn)單快速地獲得最大直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)，可以非常快速的定位所需測(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度。
技術(shù)指標(biāo):
l 最大適用4英寸晶圓測(cè)試，最大測(cè)試范圍0-10um
l 測(cè)量n和k值最小厚度要求：50nm
l 波長(zhǎng)范圍：190-1100nm
l 準(zhǔn)確度：0.2%或1nm
l 精度：0.02nm
l 穩(wěn)定性:0.05nm
地址：廣東省東莞市松山湖國(guó)家高新區(qū)總部一號(hào)12棟5樓
電話(huà)：0769-33882377
郵箱：nfjc@cwbg-nf.com
傳真：0769-23078230